2X旋片式真空泵原理圖
2X旋片式真空泵原理圖
圖(1)是2X型旋片式真空泵的工作原理圖,轉(zhuǎn)子3及7與高真空室外1及低真空室6相切,轉(zhuǎn)子3及7沿箭頭方向旋轉(zhuǎn),帶動轉(zhuǎn)子槽內(nèi)滑動的轉(zhuǎn)片旋轉(zhuǎn),由于彈簧9及離心力的作用, 轉(zhuǎn)片外端緊貼高低真空室的內(nèi)表面滑動,把轉(zhuǎn)子與高低真空室所形成的月洼形空間從進氣嘴2到排氣閥門5和從過氣管4到排氣閥門10之間分隔開來,形成二或三個容積,并且周期性的大小變化,當在圖示旋片式真空泵位置繼續(xù)旋轉(zhuǎn)時A及C容積逐漸增大,被抽容積氣體沒進氣嘴進入泵內(nèi),同時B及D容積逐漸減少,壓力升高,隨后沖開排氣閥門5及10,將氣體排出真空室外,氣體經(jīng)過油面而排于大氣之中,因為油是淹住排氣門的,故能防止氣體返回真空室。當抽氣壓強較高時,高低真空室的閥門都排氣,相當于單級泵,當真空度較高時,全部氣體進入真空室,再由排氣閥門10排出,此時二級串聯(lián)即進入雙級泵工作。
如被抽除的氣體中含有較高的蒸汽氣體時,在氣體受到壓縮而其蒸汽的分壓強超過此蒸汽在泵內(nèi)溫度下的飽和壓強時,此時蒸氣被壓縮成為液體,旋片式真空泵無法排出,而混在真空泵油內(nèi),使泵的性能大大降低,水蒸汽對真空泵的影響是非常大的。如果摻入適量的空氣,使蒸汽在受到壓縮時,其分壓強也低于泵溫的飽和壓強,則蒸汽在變成液體前就能被排出泵外去,故本系列2X-4以上的旋片式真空泵都裝有能放入一定量氣體的摻氣閥11見下圖(1)。
1 | 高真空室外 | 2 | 進氣嘴 | 3 | 轉(zhuǎn)子 | 4 | 過氣管 | 5 | 排氣閥門 |
6 | 低真空室 | 7 | 轉(zhuǎn)子 | 8 | 刮片 | 9 | 彈簧 | 10 | 排氣閥門 |